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激光發生器
晶圓襯底
空白光罩掩模基板
產品優勢
經過20余年技術研發及工藝探索，公司熔石英技術水平已經達到國內領先，多數產品指標達到國際先進水平，尤其紫外光學石英玻璃的光學非均勻性指標為國內同行業中首家可以達到2以內（1.985×10-6）以內(nei)的企業，在(zai)現(xian)有產品的非(fei)均(jun)勻性指標穩定(ding)性可維持(chi)在(zai)4之(zhi)內(nei)。
- a.內部金隅立柱式單燈集成化式沉積物裝備，集成化式奶茶原料預治療、表現合并和熔融石英生長四種模塊電源
- b.超深度貧困一氧化碳燃燒控制和氣態物汽化開創了平衡穩定的流場，確保高溶解度
- c.高品質的揮發器熱場自動匹配好的沉淀爐溫場，建立最加的合并接口和設備載面
- d.發達的一鍵化有效控制的不適應產生榮獲軸徑高度性及軸對稱性性
- e.能夠精密制造槽沉熱成型模樣仰制橫縱突出主題后的通病分布不均和糾正分次通病
- f.自行研發部層級細密降溫工藝流程抑制了扯力影響力
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純高度
耐腐蝕 -
軟化溫度高
耐熱性強 -
熱膨脹系數低
抗熱沖擊 -
光透過率高
吸收峰窄
